- 半導體製程涉及多種高毒性、腐蝕性與易燃氣體
- 場域環境監控，避免工安問題衍生
- 選型監測設備，確保場域安全與合規
- 即時數據收集與通訊，提前預警與反應
- 場域應用情境與延伸
場域內常見10種氣體簡介
1. 硅烷 (SiH4)
- 用途：PECVD、外延、生長薄膜
- 風險：易燃、自燃
2.氨氣 (NH3)
- 用途：SiN 沉積、ALD、清洗
- 風險：毒性、腐蝕、吸附性
對應品項:
- lDS4 數位式氣體感測器
- (模組) lStoxplus 防爆型
- 氣體偵測器 lAQS Net50 顯示型氣體偵測器
3.氯氣 (CI2)
- 用途：干法刻蝕、尾氣
- 風險：高毒、腐蝕
4.氯化氫 (HCI)
- 用途：SiN 沉積、ALD、清洗
- 風險：毒性、腐蝕、吸附性
對應品項:
- lDS4 / EC4 數位式 / 類比式氣體感測器(模組)
- lStoxplus 防爆型氣體偵測器
- lAQS Net50顯示型氣體偵測器
5.氟化氫 (HF)
- 用途：濕法刻蝕、清洗
- 風險：高毒、強腐蝕
6.三氟化氮 (NF3)
- 用途：CVD 腔體清洗
- 風險：毒性、溫室氣體
對應品項:
- lEC4 類比式氣體感測器(模組)
- lStoxplus 防爆型氣體偵測器
- lAQS Net50顯示型氣體偵測器
7.六氟化硫 (SF6)
- 用途：深硅刻蝕、絕緣氣體
- 風險：窒息、溫室氣體
8.磷化氫 (PH3)
- 用途：N 型摻雜、特氣
- 風險：毒性極強
對應品項:
- lDS4 / NDIR 數位式 / 紅外線式氣體感測器(模組)
- lStoxplus 防爆型氣體偵測器
- lAQS Net50顯示型氣體偵測器
9.砷化氫 (AsH3)
- 用途：III-V、特氣
- 風險：毒性極強
10.氫氣 (H2)
- 用途：還原、外延、載氣
- 風險：爆炸風險
對應品項:
- lDS4 數位式氣體感測器(模組)
- lStoxplus 防爆型氣體偵測器
- lAQS Net50顯示型氣體偵測器
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